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Mo 하부전극을 통한 Wake-up 현상 억제 Hf0.5Zr0.5O2 캐패시터의 제작 및 특성 평가 유근택, 김세현, 박주용, 이동현, 박민혁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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High-k gate dielectric properties from hydrocarbon film grown by inductively coupled plasma chemical vapor deposition Viet Dongquoc, Dong-Bum Seo, Tran Nam Trung, Eui-Tae Kim 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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보론 에미터 농도에 따른 n-Si-Al2O3 인터페이스에서의 재결합 김진솔, 최동진, 강동균, 박현정, 배수현, 강윤묵, 이해석, 김동환 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Synthesis and Self-assembly of Maltose-Polystyrene Hybrid Block Copolymers 서민지, Li Sheng 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes 유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Numerical 3D simulation of plasma etch profile with real plasma chemistry 박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Study of interfacial roughness in EUV photoresist from a molecular approach 박주혜, 이성규, 김명웅, Yannick Vesters, 오혜근, Danilo De Simone, 허수미 한국고분자학회 2018년 봄 학술대회 |
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Surface reaction modeling for oxygen effect in fluorocarbon plasma etch process 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 박재형 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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3D Feature profile simulation for oxide etching under fluorocarbon/oxygen mixture plasma 박재형, 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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3D Feature Profile Simulation of Cyclic Fluorocarbon Atomic Layer Etching Process 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |