| 번호 | 제목 |
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Superimposed multi-frequency plasma source 의 plasma diagnostic 및 etch 특성 분석 양경채, 김수강, 신예지, 성다인, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Properties of Inductively Coupled Plasma Source Applied to Internal Linear Antenna using Superimposed Dual Frequency 이수정, 김도한, 김태형, 김수강, 이원오, 김경남, 염근영 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
