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SiNx deposition using CSN-2 and H2 and N2 plasmas by remote plasma atomic layer deposition
Suhyeon Park, Chanwon Jung, Byunguk Kim, Jungwoo Kim, Yurim Kwon, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Flexible/Wearable Electronics with 2D Materials and Pulsed Laser Processing
권혁준
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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An Ultrathin Si Film Formation by the Silicon on Nothing Technology for High Performance Flexible and Semitransparent Electronic Devices
박상현, 이용환, 위정섭, 오지훈
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Highly Sensitive Semitransparent Wearable Sensors Using Oxide Nanomemberane hybrids
김대형, 박민준
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
| 9 |
Si Thin Film Photovoltaic Technology
Chang Hong Shen, Ming-Hsuan Kao, Peichen Yu, Hao-Chung Kuo, Ching-Ting Lee, Jia-Min Shieh
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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활성산소종의 확산에 의한 실리콘 산화막 형성
이원규, 고천광
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 7 |
Deposition of SiO2 Layer in a 300mm Rapid Thermal Process Equipment using Remote Oxygen Plasma
이혜원, 주상래, 서승택, 이광순
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Three Dimensional Simulation of the Process Gas Flow Pattern in a Plasma Enhanced Rapid Thermal Processor for Process Performance Analysis
주상래, 이혜원, 서승택, 이광순
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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전자빔 증발법으로 제조한 Al2O3 박막의 열처리에 의한 특성 평가|Characterization of The Thermal Treatment of Al2O3 Thin Films by E-beam Evaporation
Hyun-Wook Ryu, Jin-Seong Park
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Pt 박막히터에 의해 결정화시킨 PZT 박막의 전기적 특성|The electrical properties of crystallized PZT thin films by Pt thin film heater
송남규, 김병동, 박정호, 윤종인, 정인영, 주승기
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
