화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Diffusion coefficients of tungsten and molybdenum at high temperature
오영준, 송이화, 최준명, 김희영, 박승빈
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회
4 Fabrication and thermal stability of W, WNx diffusion barriers in the low-k integration structure
전성호, 용기중
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
3 Investigation of WN growth by Atomic Layer Deposition using a new precursor ; (t-BuN)2(NMeEt)2W
김은정, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
2 Tungsten Nitride Chemical Vapor Deposition for Cu Diffusion Barrier Using W(CO)6
이호기, 용기중
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
1 텡스텐 나이트라이드 촉매의 제조|A Study of Preparation of Tungsten Nitride Catalysts with High Surface Areas
김재형, 김경림|Jaehyung Kim, Kyunglim Kim
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회