| 15 |
Plasma Damage Protection Processes for Nanoporous Ultralow Dielectrics
조성민, 양태경, 이희우
한국고분자학회 2017년 봄 학술대회 |
| 14 |
Improved Plasma Resistant of Ultralow Dielectrics by Increased Carbon Contents
조성민, 양태경, 이희우
한국고분자학회 2016년 봄 학술대회 |
| 13 |
Mechanical Properties and Molecular Structures of Ultralow Delectrics by O3/UV Treatment
조성민, 이희우, 김동규
한국고분자학회 2015년 봄 학술대회 |
| 12 |
Enhanced Plasma-Induced Damage Resistance of Nanoporous Ultralow Dielectrics by Increased Carbon Content
조성민, 이희우
한국고분자학회 2014년 가을 학술대회 |
| 11 |
Improved Plasma Resistance of Ultralow Dielectrics by Cyclic Reactive Porogen
조성민, 김원기, 이희우
한국고분자학회 2014년 봄 학술대회 |
| 10 |
New Spin-on Ultralow Dielectrics for reduced Plasma Damage
김원기, 김진옥, 조성민, 이희우
한국고분자학회 2013년 가을 학술대회 |
| 9 |
Mechanical Properties and Molecular Structures of Ultralow Dielectrics by Post-treatments
김원기, 김진옥, 조성민, 이희우
한국고분자학회 2013년 봄 학술대회 |
| 8 |
Enhanced Mechanical Properties of Nanoporous Ultralow Dielectrics by Post-treatments
송승현, 김원기, 이희우
한국고분자학회 2012년 가을 학술대회 |
| 7 |
Post-Treatment to Improve the Mechanical Properties of Nanoporous Ultralow Dielectric Materials
송승현, 김원기, 이희우
한국고분자학회 2012년 봄 학술대회 |
| 6 |
World Premier Spin-on Dielectrics for System LSI
이희우
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
