번호 | 제목 |
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Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface 한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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식물성 오일 유래 친환경 실리콘 웨이퍼 세정제의 합성 및 물성 평가 김도원, 조서연, 이수민, 이주연, 손종석, 임종주, 이명진 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |