| 초록 |
기본 mode와 Overtone mode를 이용해서, 각 mode의 수정진동자에 대한 단위면적당 예상되는 이론적인 감도 및 9 MHz의 수정진동자의 감도를 기준으로 했을 경우의 감도 비율을 비교하였다. 플라즈마중합 전후의 주파수변화에서는 4분간 플라즈마중합시킨 각 mode의 수정진동서의 중합 전후의 주파수변화 및 9 MHz의 수정진동자의 주파수변화를 기준으로 한 경우의 변화비율은 플라즈마중합 장치의 하부전극에 놓여진 위치에 따라 조금씩 차이는 있지만 같은 mode의 수정진동자라면 거의 같은 정도의 변화를 보여주고 있다. 또한 가스 종류에 대한 각 mode의 수정진동자의 응답특성을 알아보기 위해 플라즈마중합법으로 4분간 스틸렌막이 피막된 9 MHz의 수정진동자와 3배 Overtone mode의 100 MHz 수정진동자를 이용해서 4종류의 가스시료를 5분간 측정한 경우, 가스시료에 대한 선택성을 가진 스틸렌막에서는 클로로포름이 가장 큰 반응을 보였다. 그 다음은 디에틸에테르, 아세톤, 에탄올의 순이였고, 더욱이 반응변화가 크면 클수록 초기주파수에 되돌아갈 때까지 시간이 더 걸렸다. 그리고, 9 MHz의 수정진동자와 3배 Overtone mode의 수정진동자의 결과는 매우 유사하였다.
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