| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2020년 가을 (11/18 ~ 11/20, 휘닉스 제주 섭지코지) |
| 권호 |
26권 1호 |
| 발표분야 |
E. 환경/센서 재료 분과 |
| 제목 |
브랜치 구조 다공성 나노와이어 합성 및 금속 촉매에 의한 상온 가스 센싱 특성 향상 |
| 초록 |
1차원 나노와이어는 부피 대비 표면적이 큼에 따라 민감도가 높다는 장점을 가지고 있어 가스센싱 분야에서 많은 연구가 진행되고 있다. 이번 실험에서는 Metal-Assisted Chemical Etching(MACE) 공법을 사용해 다공성 실리콘 나노와이어를 합성하였으며, 이 위에 Te 파우더를 이용하여 TeO2 나노와이어 브랜치를 형성하였고, 그 위에 금속 촉매를 형성하였다. Scanning Electron Microscope(SEM), Transmission Electron Microscope(TEM) 그리고 energy-dispersive X-ray spectroscopy(EDX)을 통하여 해당 브랜치와 촉매의 형상 및 구조가 성공적으로 형성됨을 확인하였다. TeO2 브랜치 및 금속 촉매로 기능화 된 다공성 나노와이어는 상온 환경에서 CO, C6H6 그리고 C7H8 가스를 주입하면서 센서 실험을 진행하였을 때, 기존 다공성 실리콘 나노와이어, TeO2 브랜치화 다공성 실리콘 나노와이어에 비해 높은 감응 특성을 나타내었다. 이러한 새로운 상온 가스 센서는 기존의 실리콘 공법으로 호환 가능하다는 장점이 있어 가스 센서 분야에 새로운 관점을 열 것으로 보인다. |
| 저자 |
김현우, 방재훈, 한승민, 이하영, 신가윤, Sanjit Manohar Majhi
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| 소속 |
한양대 |
| 키워드 |
<P>나노와이어; 브랜치; 금속 촉매; 가스센싱</P>
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