| 초록 |
LED용 사파이어 단결정 제조시 성장로 내부는 약 2300℃ 이상의 초고온 환경에 장시간 노출됨으로 인해 내부의 부품소재들은 쉽게 고온변형의 위험에 접하게 된다. 특히, 가열 히터재료로 사용되고 있는 텅스텐 발열체는 열적 변형을 직접적으로 받으므로 빈번히 고온변형을 일으켜 결국에는 파단에 이르게 된다. 그러나 텅스텐 발열체의 고온변형 및 파단의 원인이 아직 불분명하여 텅스텐 발열체의 변형 원인을 파악하기 위한 연구가 시급한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 사파이어 단결정 성장로의 가열 싸이클에 따른 텅스텐 발열체의 미세조직 및 기계적 특성 변화를 분석하여 텅스텐의 변형 및 파단 원인을 규명하고자 하였다. 가열 조건은 2300℃, 480h 이었으며, 가열 후 공냉시켰다. 샘플은 텅스텐히터의 상부, 중부, 하부에서 각각 채취하였으며, 광학현미경 및 SEM에 의한 미세조직 관찰과 경도측정에 의한 기계적 특성 평가를 하였다. 또한, K의 첨가에 따른 미세조직 및 기계적 특성 변화에 대한 연구도 실시하였다. |
