| 초록 |
Zn acetate dihydrate(Zn(CH3COO)2·2H2O), Al chloride hexahydrate(AlCl3·6H2O)) 그리고 isopropanol ((CH3)2CHOH)을 사용하여 ZnO:Al 졸을 제조하였고, Sol-gel spin-coating 법으로 5회 코팅하여 Al-doped ZnO 박막을 제조하였다. 후열처리는 650℃ 1시간 동안 대기압상태에서 하였다. 다시 완성된 박막을 500℃에서 대기압 상태, 진공 상태, 질소 분위기에서 어닐링 하였다. 박막의 구조적 특성 분석은 XRD (X-Ray Diffractometer), SEM (Scanning Electron Microscope), AFM (Atomic Force Microscope)을 사용하여 결정 배향성 및 표면 미세조직, 표면 거칠기 등을 조사하였고, 도핑물질의 종류에 따라 XPS (X-ray Photoelectron Spectroscope) 분석을 통해 구성원소의 화학적 결합상태를 확인하였다. 전기 전도도를 측정하기 위하여 Van der Pauw 방법을 이용하였고, Hall 측정장비 hall 계수를 측정하였다. UV-vis을 이용하여 각 도핑물질에 따른 투과율 차이를 비교하고, Beer의 법칙을 이용하여 광학적 밴드갭을 계산하였다. |
