학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 2006년 가을 (10/27 ~ 10/28, 고려대학교) |
권호 | 12권 2호, p.2107 |
발표분야 | 에너지/환경 |
제목 | 유기산의 고급산화공정에 의한 분해반응 연구 |
초록 | 반도체 에칭과정에서 발생하는 아세트산와 말론산은 유기산의 최종산화물로서 더 이상 분해되기 어려운 물질로 Photo-Fenton 반응과 광촉매반응의 고급사화공정을 이용하여 분해효율과 반응속도를 연구하였으며, 실제 공정 설계에 필요한 기초 자료를 확립하고자 하였다. 아세트산의 COD 변화와 농도 변화를 관찰한 결과 아세트산의 분해효율이 UV-H2O2 반응 > Photo-Fenton 산화 반응(Fe2+-H2O2-UV) ≥ 광촉매 반응(TiO2- UV-H2O2) 순으로 나타났으며, 말론산의 경우 Photo-Fenton 산화 반응(Fe2+-H2O2-UV) > UV-H2O2 반응 ≥ 광촉매 반응(TiO2-UV-H2O2) 결과가 나왔다. 39W UV 저압 수은 램프를 사용한 본 반응에서의 UV이 조사시간은 약 80분이면 분해반응이 완료되었으며, 유기산의 분해는 UV-H2O2 반응에서 가장 효과적이었다. 또한 Photo-Fenton 산화 반응을 제외한 다른 고급산화방법에서 ㆍOH 생성속도가 느려 반응 초기의 남아있는 과산화수소로 인하여 오히려 초기 COD 값이 증가하는 현상을 보였다. 그러나 Photo-Fenton 산화반응에서는 과산화수소가 철염의 산화에 소모되므로 초기 COD의 증가는 나타나지 않았다. 고급산화법을 이용한 아세트산과 말론산의 제거반응은 모두 1차반응을 보였으며, 아세트산의 경우 UV-H2O2 반응의 반응속도가 가장 크게 나타났고, 말론산의 경우 Photo-Fenton 산화 반응에서 반응속도가 가장 빨랐다. |
저자 | 박주영, 이인화, 이범규 |
소속 | 조선대 |
키워드 | 광촉매반응; Photo Fenton 산화; 아세트산; 말론산 |
원문파일 | 초록 보기 |