| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 |
27권 1호 |
| 발표분야 |
G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 |
Plasma Polymer-Metal 다층 전극의 광학, 전기적 특성 연구 및 면상 투명 히터 응용 |
| 초록 |
CNT-PTFE 복합 타겟을 MF 스퍼터링하여 Plasma polymer fluorocarbon(PPFC) 박막을 제작할 수 있다. PPFC 박막은 낮은 굴절율로 인해 광학 박막으로 적합하며, 낮은 표면에너지로 인한 발수 특성으로 자가세정 효과를 나타낸다. PPFC 박막과 금속층을 적층하여 Plasma Polymer-Metal 다층 전극을 제작하였다. Metal 재료로 비저항이 낮은 Ag를 사용하여 전기 전도도를 향상시켰다. 광학 시뮬레이션으로 metal/polymer, polymer/metal/polymer 구조에서 각 층의 최적 두께 범위를 설정하여 다층 전극을 제작하였다. 특히, plasma polymer/metal 구조로 제작한 전극은 저전력에서 150oC의 고온 발열 특성을 나타내어 면상 투명 히터로 응용이 가능함을 확인하였다 |
| 저자 |
김혜민, 김성현, 박현진, 이상진
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| 소속 |
한국화학(연) |
| 키워드 |
불소고분자박막; 투명전극; 박막 히터; 투명 히터
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