화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주)
권호 23권 1호, p.289
발표분야 미립자공학
제목 화염기상공정법을 통한 나노구조형태가 제어된 산화텅스텐 박막의 제조
초록 산화텅스텐은 가시광선영역의 빛을 흡수하여 광촉매 활성을 보이는 반도체로 다양한 분야에 활용될 수 있는 물질이다. 이러한 산화텅스텐의 나노구조형태는 광촉매의 효율을 결정하는 중요한 요소이므로 활용목적에 맞는 나노구조형태의 산화텅스텐을 제조할 수 있는 기술은 매우 중요하다. 본 연구에서는 높은 결정화도의 고순도 산화텅스텐 박막을 경제적으로 제조할 수 있는 방법인 화염기상공정법을 통하여 효율적인 빛 흡수 및 높은 표면적을 제공하는 단방향성 나노구조의 산화텅스텐 박막을 제조하였으며 고분해능주사전자현미경 측정을 통해 나노구조형태를 확인하였다. 이 때 다양한 공정조건 중 전구체 공급량의 조절을 통하여 효과적으로 나노구조형태를 제어할 수 있었다.
저자 윤상혁, 김교선
소속 강원대
키워드 미립자; 촉매
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