화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2007년 가을 (10/26 ~ 10/27, 한국과학기술원)
권호 13권 2호, p.2347
발표분야 재료
제목 상압플라즈마를 이용하여 TiO2 박막 표면 개질 후 가시광선 활성 평가
초록 이번 실험은 상압 플라즈마를 이용하여 TiO2코팅된 유리판을 표면개질 하여 가시광선에서의 활성 평가를 하였다. 졸-겔 법으로 제조된 TiO2 용액에 유리판을 담근 후 200, 300, 400, 500℃ 각각 4시간 소성 후 TiO2 박막을 제조하였다. TiO2박막 표면개질에 사용된 gas는 질소, 산소, 아르곤을 사용하였다. 플라즈마 파워는 50~300W까지 변화를 주었으며, 처리 시간은 30s ~ 10min까지 변화를 주었다. XRD를 이용하여 박막의 anatase 결정 구조를 관찰하였고 표면의 성분 분석과 원소 상태(atomic chemical state)를 분석하기 위해 XPS를 사용하였고 광학적 특성을 분석하기 위해 UV-VIS spectrophotometer를 사용하였다.
저자 김귀성1, 조동련1, 김경석1, 김병훈2, 고영무2
소속 1전남대, 2조선대
키워드 상압플라즈마; TiO2
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