화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트)
권호 18권 1호
발표분야 E. 구조 재료(Structural Materials)
제목 대기압 유전체배리어방전을 이용한 SiOxCy(-H) 박막의 친수성/소수성 거동 연구
초록 일반적으로 실록산전구체를 이용하여 플라즈마 합성된 폴리머는 소수성을 가지고 있어, 금속의 부식을 방지하기 위한 표면코팅물질로 사용될 수 있다. 그러나 대기압 유전체배리어방전을 이용하는 경우 공기중의 산소가 반응하여 합성된 박막의 소수성이 감소하는 경우가 있다. 따라서 본 연구에서는 전구체로 hexamethylcyclotrisiloxane(HMCTSO)를 사용하고 유전체배리어방전가스로 헬륨을 사용하면서 반응가스로 산소를 첨가함에 따라 합성되는 박막의 소수성변화를 연구하였다. 기판으로는 유리, 마그네슘합금, 알루미늄합금을 사용하였다. 동일 합성조건에서 유리에 코팅된 박막이 금속에 코팅된 경우에 비하여 접촉각이 30이상 낮은 특성을 보였다. 마그네슘합금의 경우 산소미첨가시 120도의 접촉각을 보였으며 반응가스 중 산소함량이 증가함에 따라 접촉각이 감소하였으나 50sccm으로 산소를 첨가한 경우 산소를 첨가하지 않은 경우와 유사한 소수성을 보였다. 합성된 박막의 표면조도 및 형상, 화학결합구조 및 조성 등의 분석을 통해 소수성에 미치는 산소의 영향을 고찰하였다.
저자 박상민, 김윤기
소속 한밭대
키워드 친수성; 소수성; 대기압유전체배리어방전; 실록산전구체; SiOxCy(-H) 박막
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