| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 무기재료 |
| 제목 | 하이브리드 플라즈마를 이용한 구리산화물 제거 및 특성 연구 |
| 초록 | 반도체 소자의 고집적화가 진행되면서 Cu와 low-k 재료가 도입되었으며, 패턴을 형성하기 위해 damascene 구조의 금속배선구조를 형성하게 되었다. Damascene를 형성하는 과정에서 식각에 의한 잔류물이 생성되게 되었으며, 이는 후속의 세정 공정을 통해 반드시 제거되어야만 한다. 본 연구에서는 세정용액의 구리산화물에 대한 용해특성 향상에 대한 연구를 수행하였다.플라즈마에서 발생되는 활성산소종 또는 세정용액에 가해지는 주파수에 따라 구리산화물의 용해특성을 평가하였다. 구리산화물의 용해특성에 대해ICP와 UV/Vis spec를 이용하여 측정하였다. AFM을 이용하여 구리 표면의 데미지를 분석하였으며, 식각잔류물의 제거는 FESEM을 이용하여 평가하였다. |
| 저자 | 고천광, 이원규 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 플라즈마; 구리산화물; pH |
