| 초록 |
유기박막트랜지스터는 게이트 절연막의 표면 상태에 따라 그 성능이 좌우되는 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate, 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrimethoxysilane, Titanium(IV) butoxide를 전구체로 이용하여sol-gel 반응을 통해 게이트 절연막용 Fluorinated 하이브리드 재료를 합성하고 그 특성을 평가하였다. 제조된 Fluorinated하이브리드 재료에는 전이금속이 포함되어 5 이상의 유전율을 얻을 수 있었고, perfluoroalkyl 기능성 체인을 부가하여 SAM 처리 등의 표면처리를 하지 않고도 14mJ/m2 정도로 매우 낮은 표면에너지를 갖는 게이트 절연막을 제조하였다. Fluorine의 조성변화를 통해 표면에너지를 바꾸고, 표면에너지가 낮아짐에 따라 펜타센 grain의 크기가 작아지는 것을 관찰하였다. 각각에 대한 유기박막트랜지스터의 특성을 측정함으로써 Fluorinated 하이브리드 재료의 조성을 최적화하였다. |
