| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2018년 봄 (05/16 ~ 05/18, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
| 권호 |
24권 1호 |
| 발표분야 |
G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 |
패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN 층을 이용한 공기 공극 구조 형성에 대한 연구 |
| 초록 |
발광 다이오드는 고효율, 장수명 그리고 친환경의 장점을 가지고 있어 기존 백열등에 비해 조명기기로의 활용이 높아지고 있다. GaN을 기반으로 하는 발광 다이오드의 광추출효율을 증가시키기 위해 기판과 GaN 층 사이에 공기 공극 구조를 도입하는 연구가 진행되고 있다. 공기 공극 구조는 GaN과 공기의 굴절률 차이로 인한 빛의 경로를 바꿈으로써 기판 및 소자 내부에서 소멸하는 빛의 양을 줄여 광추출효율을 증가시킬 수 있다. 이번 연구에서는 패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN 층을 이용하여 공기 공극 구조를 형성하였다. 공극 부분이 될 감광액을 제거하는 공정과 공기 공극 구조를 유지하기 위해 AlN 층의 두께를 달리하여 공기 공극 구조를 형성하였다. 공기 공극 구조의 형상과 비표면적, 그리고 AlN 층의 결정성을 분석하고 고찰하였다. |
| 저자 |
고현아, 정우섭, 조승희, 이두원, 안민주, 심규연, 변동진
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| 소속 |
고려대 |
| 키워드 |
<P>공기 공극 구조; AlN; 감광액</P>
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