| 초록 |
최근, 고출력, 고효율 소자, 부품개발과 관련하여 구리배선에 wet 방식인 구리 전기 도금 및 구리 무전해 도금 방식이 많이 적용되고 있고, 이에 대한 연구 및 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 무전해 도금의 경우, 현재까지는 대부분 포름알데히드를 환원제로 하는 강알칼리성의 무전해 구리 도금욕에서 주로 개발이 이루어져 왔다. 하지만, 세계적인 환경규제에 따라 포름알데히드는 사용이 제한되었고, 고출력 고효율 소자 부품으로 접근하면서 세라믹 기반 기판이 사용됨에 따라 강알칼리 또는 강산성 용액에 대해 기판이 손상을 받게 되어, 포름알데히드를 사용하지 않는 중성근처에서의 무전해 구리 도금이 요구되고 있다. 본 연구에서는 용액 교반 속도 변화에 따른 친환경적 중성 무전해 구리 도금용액을 이용하여 형성된 도금박막의 표면을 분석하였다. 사용한 무전해 구리 도금 용액은 차아인산나트륨을 환원제로 사용하고, 용액의 pH는 7 근처로 하여 친황경적 무전해 구리 도금을 시도하였다. 또한, 무전해 구리 도금시 용액의 교반 속도를 0 rpm에서 1000 rpm까지 변환시켜 이 용액의 교반속도가 무전해 구리도금박막에 미치는 영향에 대해 조사 분석하였다. 본 연구는 교육과학기술부와 한국연구재단의 지역혁신인력양성사업과 나노팹 시설활용지원사업으로 수행된 연구결과이다. |
