| 초록 |
현재의 반도체 산업은 실리콘 기반의 공정적 한계를 극복하고 새로운 응용 방향으로 나아가기 위해 나노소자에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 차세대 반도체 구조물로 각광받고 있는 1차원 나노 구조의 나노선은 나노스케일의 크기 효과, 양자 효과, 단결정, 고 비표면적 등 벌크 소재에서 발견할 수 없는 새로운 특성들에 의하여 센서, 에너지, 전자 및 바이오 등의 여러 분야에서 활용이 가능하다. 브랜치 구조의 나노선은 기존의 1차원 나노선보다 넓은 비표면적으로 인하여 센서 특성 향상 연구에 응용할 수 있다. 본 연구에서는 산화물 반도체 나노선 구조에 브랜치 구조를 합성시킴으로 센서 특성 변화에 대한 연구를 수행하였다. 합성된 산화물 반도체 기반 브랜치 구조의 나노선은 주사전자현미경 (SEM), 투과전자현미경 (TEM), X-선 회절분석법 (XRD) 등을 통하여 재료의 구조를 분석하였고, 센서 특성을 조사하였다. 유해성 가스 농도에 따른 저항 변화를 측정하여 센서 특성을 비교 하였으며 기존의 일차원 나노선의 센서 특성보다 향상된 센서 성능을 얻을 수 있었다. |
