화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트)
권호 15권 1호
발표분야 전자재료
제목 Characterization of Multiferroic BiFeO3 Thin Films Fabricated by Aerosol Deposition
초록 전자부품의 고성능화를 위하여 강자성과 유전체 특성을 모두 구현할 수 있는 BiFeO3에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 상온에서 진공 분말분사공정 (aerosol deposition)을 이용하여 BiFe2O3 박막을 제조하고, 열처리 조건에 따른 박막의 자기적 특성, 전기적 특성, 미세구조를 관찰하고 토론하고자 한다.
저자 백창우1, 김근영2, 박동수2, 류정호2, 정대용1
소속 1명지대, 2재료(연)
키워드 Aerosol deposition; BiFeO3; Multiferroic
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