화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교)
권호 15권 2호
발표분야 H. Advanced Coating Techniques(첨단 코팅 기술)
제목 PVD법을 이용한 광촉매 TiO2박막 제조
초록 광촉매 TiO2는 국내외적으로 큰 관심을 받고 있는데, 빛을 조사한 후에 물질에서 발생하는 다양한 물리 화학적 촉매특성이 환경정화 기능 및 에너지 문제와 밀접하게 연결되어 있기 때문이다. TiO2는 자기정화기능, 초친수성, 고효율 수소생산성 및 태양전지로 활용성 등을 포함하여 다양한 분야의 친환경 소재로 각광을 받고 있다. 본 연구는 PVD법 중 광범위의 TiO2박막에 제조에 유리한 evaporation법을 이용하여 glass기판위에 TiO2박막을 제조하고 특성을 평가하였다. 제조된 박막은 각각 400,500,600°C에서 열처리를 실시하였다. 이렇게 제조된 TiO2박막의 결정구조는 thin film형 X선 회절분석기를 사용하여 분석하였으며, 박막의 표면 및 미세구조는 FE-SEM과 AFM을 이용하여 분석하였다. 친수성 평가는 실온에서 UV를 조사하여 접촉각 측정기를 이용하여 측정하였다.
저자 윤형철, 김남정, 서수정
소속 성균관대
키워드 Evaporation; 광촉매 TiO2
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