| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2007년 봄 (05/11 ~ 05/12, 계명대학교) |
| 권호 | 11권 1호 |
| 발표분야 | 정보전자소재 |
| 제목 | 싱크론트론 방사광을 이용한 초고정세 격벽 형성 |
| 초록 | 싱크론트론 방사광은 기존의 광원보다 강도가 수만배 이상의 강한 펄스광원이며, 평행성이 매우 좋아서 퍼짐이 작고, 연속 에너지 스펙트럼을 갖는 광원이라는 특성을 가진다. 따라서 기존의 광원에 비해 노광시간을 극단적으로 줄일 수 있고, 퍼짐이 매우 작아 고종횡비(high aspect ratio) 구조의 제작이 가능하다. 본 논문에서는 감광성 격벽 페이스트를 싱크르트론 방사광에 선택적으로 노출하여 초고정세 격벽을 제작하였다. |
| 저자 | 김동주1, 류승민2, 한만희2, 이승섭2, 김덕곤1, 우창민1, 양동열2, 박이순1 |
| 소속 | 1경북대, 2한국과학기술원 기계공학과 |
| 키워드 | x-선 리소그라피; 감광성 격벽 페이스트; 초고정세 격벽 |
