| 초록 |
산업화에 따른 대기 환경 오염의 악화는 쾌적한 삶을 보장하기 위한 환경 유지 및 경보 체계의 필요성에 대한 인식을 증대시키고 있다. 대기 오염의 주 원인으로 부각되고 있는 NO2는 저농도(대기 환경 기준 : 150ppb/hr)에서도 인체 및 동식물의 생육에 직접 영향을 미칠 뿐만 아니라 산성비의 생성과 오존 등의 2차 대기 오염 물질을 생성하기도 하며, 아황산가스와는 달리 원천 감소가 불가능하고 자동차의 증가로 매년 그 오염도가 상승하고 있다. 본 연구에서는 지금까지 주로 분석적인 기술에 의존하고 있는 가스 측정 방법을 산화물 반도체를 이용하여 범용적으로 사용할 수 있는 가스 센서를 제조하고 그 응용 가능성을 살펴보았다. 특히, 박막 공정에 비해 공정 편의성 및 응용성에 있어서 장점을 지닌 후막 공정을 이용하여 산화물 반도체형 가스 센서를 제작하고, 제작 센서들의 제작 조건 및 측정 조건에 따른 NO2에 대한 감도, 선택성, 응답 재현성 등을 통해 제작 센서의 우수한 특성을 확인하였다.
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