화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터)
권호 15권 1호
발표분야 무기재료
제목 서브마이크로 미세구조를 가지는 산화물 세라믹스 소결체의 제조
초록 임의 형상의 미세구조 패턴의 형성기술은 광전자 공학부터 생물학적 적용까지 넓은 분야에서 폭발적인 잠재력을 가지고 있다. 그러나 많은 패턴 형성에 관한 연구는 제작 프로세서 비용이 높아 일부의 기능성 반도체 디바이스 혹은 유기물 광학 미디어등에 한정 되고 있으며 고온 구조용 세라믹스에 적용은 거의 예가 없는 실정이다. 최근 들어 MEMS, 고온내열부재, 광학부재에 관한 연구의 진전과 함께 고온 구조부재의 표면에 미세구조를 부여하는 연구의 니즈가 높아지고 있다. 이에 본 연구에서는 폴리 비닐 알콜(PVA)과 금형(실리콘 혹은 석영)의 이형성이 높은 것에 착안하여 특단의 장치를 이용하지 않고 간단한 전사 방법으로 산화물 세라믹스 소결체에 미세구조 부여를 시험하였다.
저자 김홍대, 김억수, 이만식
소속 한국생산기술(연)
키워드 산화물 세라믹스; 미세 패턴; 소결
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