| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
B. Nanomaterials Technology (나노소재기술) |
| 제목 |
금속타겟 제조법에 따른 CuGa 박막의 특성조사 |
| 초록 |
본 연구에서는 금속타겟 제조법에 따른 CuGa 박막의 증착특성을 조사하였다. 박막증착에 사용된 CuGa 금속타겟은 SPS(Spark plasma Sintering)와 HP(Hot pressing)법으로 제작되었으며, Cu:Ga 함량비는 각각 70:30wt%와 75:25wt%였다. CuGa 박막은 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 입력전력과 기판온도에 따라 증착하였으며 박막의 특성은 ICP, FE-SEM(&EDS), XRD, 비커스 경도, AES 등으로 조사하였다. 조성비 분석결과로부터 상온에서 제작된 CuGa 박막은 입력전력과 기판온도에 따라 Ga 함량비가 증가함을 알 수 있었다. 그리고, CuGa 박막의 결정상은 주로 Cu3Ga1을 가졌고, 스퍼터 조건에 따라 민감하게 변화하였다. 조사된 결과에 의하면 CuGa 박막은 150W에서 가장 치밀한 조직을 가졌으며, 이러한 박막은 CIGS 태양전지 광흡수층 제작을 위한 Precursor로 이용 가능할 것으로 사료된다. |
| 저자 |
조상현1, 황철균1, 김재육2, 이상돈2, 김맹준3, 이성호1
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| 소속 |
1(재)대구테크노파크 나노융합실용화센터, 2(주)쌍용머티리얼 신소재(연), 3경북대 |
| 키워드 |
CuGa 타겟; CuGa 박막; 마그네트론 스퍼터링; 결정상
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