| 초록 |
ZnO는 광대역 밴드갭을 지닌 직접천이형 물질이며 우수한 광학적, 화학적 특성을 지닌 화합물 반도체이다. 이러한 특성을 지닌 ZnO는 여러 가지 광전자 디바이스, 화학센서에 이르기까지 많은 응용가능성을 가지고 있다. ZnO는 다른 재료들에 비해 비교적 쉽게 여러 형태의 나노구조물을 만들 수 있다는 장점이 있고, 최근 많은 연구그룹들이 다양한 나노구조물들을 제조하여 이들의 특성에 대한 연구결과를 발표하고 있다. 하지만, 이러한 나노구조물이 디바이스로 응용되기 위해서는 보다 많은 전기적, 광학적 특성에 대한 연구가 필요한 것으로 판단된다. 뿐만 아니라, 가스, 대기 등 주위 환경이 나노구조물에 어떠한 영향을 미치는지에 대한 연구도 필수적으로 선행되어야 할 것으로 판단된다. 본 연구에서는 유기화학기상착법(MOCVD)법을 이용하여 수직 성장된 나노막대를 제조하였으며, 디바이스 소자로서 응용 가능성을 알아보기 위해 ZnO 나노막대의 전기적, 광학적 특성을 조사하였다. 특히, 진공정도에 따른 전하 농도와 전하 이동도를 측정하였고, 대기영향이 ZnO 나노막대의 전기적 특성에 어떠한 영향을 미치는지를 조사하였다. |
