| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 |
15권 1호 |
| 발표분야 |
구조재료 |
| 제목 |
나노인덴테이션을 이용한 마이크로 컬럼의 기계적물성 평가 |
| 초록 |
소자가 소형화, 집적화됨에 따라 구조물의 크기가 작아지고, 나노/마이크로 크기를 기본으로 하는 소재의 사용이 크게 늘어났으며 이에 따라 NEMS, MEMS 기술을 이용한 제품이 상용화 되면서 신뢰성 있는 소자를 만들기 위해서는 이러한 구조물의 물성들을 파악하는 것이 중요하다. 이에 따라 나노/마이크로 소재의 기계적 특성 평가 방법에 대한 관심이 높아지고 몇 가지 방법이 제시되고 있으나 아직 뚜렷한 방법이 확립되지는 않은 상태이다. 본 연구에서는 소재의 나노/마이크로 기계적 특성을 평가할 수 있는 장치로 나노인덴테이션과 원자간력 현미경 기술을 이용하여 압자와 부대 장치를 설계, 제작하였다. 이를 이용한 마이크로 압축 시험을 행하여 응력 인가시의 기계적 거동의 변화를 조사, 해석하고 주사전자현미경과 투과전자현미경 평가기술을 이용하여 미세구조 변화를 관찰하여, 소재에 대한 마이크로 기계적 특성평가 기술 개발을 시도하였다. |
| 저자 |
이수성1, 이홍림1, 강경훈1, 김행만1, 김진광2, 조상봉1, 윤존도1
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| 소속 |
1경남대, 2(주)TYCO AMP |
| 키워드 |
소재; 나노인덴테이션; 마이크로 압축 시험; 나노/마이크로 기계적 특성; 기계적 거동; 유한요소해석
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