| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (04/07 ~ 04/09, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 46권 1호 |
| 발표분야 | 분자전자 부문위원회 Ⅰ |
| 제목 | NaCl을 이용한 고결정성 단층 MoS2 성장 및 이를 이용한 멤리스터 소자 구현 |
| 초록 | 2차원 TMCs 재료 중 MoS2는 단일 층으로 성장되었을 때 독특한 물리적인 성질을 가지고 있으며 멤리스터, 전계효과 트랜지스터 등 고성능 고기능성 소자로의 잠재적인 응용성으로 인해 많은 주목을 끌고 있는 물질이다. 반도체 특성을 갖는 2차원 구조물질인 MoS2 박막을 염을 이용한 화학기상 증착법을 이용하여 대면적으로 합성하였고 그 특성을 분석하였다. MoS2를 대면적으로 합성하기 위하여 압력, 온도, NaCl양, gas의 종류 등 다양한 변수를 이용하여 실험을 진행하였다. 합성한 MoS2를 분석하기 위하여 Raman 분광법, 광학현미경, AFM을 사용하여 분석을 수행하였다. 또한 합성한 MoS2를 이용하여 멤리스터 및 트랜지스터를 제작하여 전기적 특성을 분석하였다. |
| 저자 | 고재권1, 육연지1, 이재원2, 김현호1 |
| 소속 | 1금오공과대, 2충남대 |
| 키워드 | MoS2; CVD; NaCl; 트랜지스터; TFT; TMCs |
