| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2006년 봄 (05/12 ~ 05/13, 전북대학교) |
| 권호 |
10권 1호 |
| 발표분야 |
무기재료 |
| 제목 |
Preparation and its performance of Chemical filter for gas absorption for Semiconductor Industry |
| 초록 |
공장에서 배출되는 배기가스와 자동차 매연 및 산업현장에서 발생하는 유해가스의 제거를 위한 장비설치는 필수가 되었다. 이 중 반도체 제조 공정 중에서 발생하는 암모니아와 오존은 발생원이 직접 대기로 방출되는 1차 오염 물질이다. 수입에 의존하는 케미칼 필터를 국산화하기 위하여, 암모니아, 오존을 효율적으로 제거 할 수 있는 높은 비표면적을 갖는 나노기공소재와 이온교환수지를 만들고 지지체에 접착하여 케미칼 흡착 필터를 제조하였다. 제조방법으로는 지지체에 접착제를 코팅하고 1차 curing 후 나노기공소재와 이온교환수지를 지지체에 접착 및 1차 열풍 건조 하고, 다시 2차 풍압건조를 실시하여 시편을 제조하였다. |
| 저자 |
강원모, 김호건, 김진수, 나정현, 황세규, 김종길
|
| 소속 |
한양대 |
| 키워드 |
Semiconductor |
| E-Mail |
|
