| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2019년 봄 (05/15 ~ 05/17, 평창 알펜시아 리조트) |
| 권호 |
25권 1호 |
| 발표분야 |
G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 |
Low temperature deposition of anatase TiO2 on polymer substrates for photocatalytic application |
| 초록 |
산화티타늄 Anatase 결정상은 자외선 조사시 광촉매 특성을 가지는 재료이나 , 박막형태로 직접 증착시할 경우 300도 이상의 고온 공정이 필요하여 고분자 기판에서 증착이 어렵다고 알려저 있다. 본 연구에서는 기판 가열 또는 후열 처리 없이 상온에서 스산화티타늄 Anatase 박막을 고분자 필름위에 증착하여 광촉매 특성을 평가하였다. Pulsed 스퍼터링 공정을 통해 약 1.8mTorr의 압력 조건에서 TiO2 박막을 350nm 증착하였다. XRD를 통해서 결정성을 분석한 결과 결정면을 관찰할 수 없었으나 TEM 분석을 통해 박막내 20nm정도의 Anatase 나노 결정을 확인할 수 있었다. 또한 결정방향을 불규칙적으로 형성되었으며 Anatase상과 Rutile상이 혼재되어있음을 확인할 수 있었다. 자외선 조사된 시편의 메틸렌 블루 분해능력을 파우더 Anatase 분말 시료와 비교하여 광촉매 특성을 분석하였다. |
| 저자 |
이예린, 이다영, 김홍희, 박동희
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| 소속 |
한국과학기술(연) |
| 키워드 |
TiO2; Sputtering; Anatase; Photocatalysis
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