| 초록 |
오늘날 다양한 종류의 가스 센서들은 우리들의 안전을 보호 하는데 중요한 역할을 하고있다. 그 중 화학 저항 식 가스 센서는 우수한 감도, 낮은 가격, 높은 안정성 등의 장점으로 인기가 있지만 그럼에도 높은 전력 소비, 낮은 선택 성 부분이 문제점으로 지적 되고 있다. 이를 개선하기 위한 방법으로 초 미세 나노 크기의 나노 입자를 사용 하거나, 귀금속 촉매를 기능화 하는 방법, C-S 구조를 활용 하는 방법 등 많은 개선 방법 등 많은 방안이 제시되고 있다. 본 연구는 SnO2 초 미세 나노 입자에 ALD의 사이클을 제어 하여 10,30,60 nm 두께의 TiO2 층을 쌓아 원하는 형태로 제작을 하였으며 다양한 전압을 인가 하여 자가 발열 테스트를 진행 하였다. 20 V 에서 최적의 전압을 보였고 NO2 가스에 대해서 순수한 SnO2 초 미세 나노 입자에서 최고의 성능을 보였으며, 대조적으로 CO 감지의 경우 30 nm의 TiO2 두께가 최고의 성능을 발휘했다. 이러한 결과는 초 미세 나노 입자의 구조에 따른 가스 감지 거동에 기인하는 것으로 보이며 이를 활용 한다면 고성능 가스 센서의 실현 가능성을 확인시켜 줄 것으로 보인다. |
