| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 |
15권 1호 |
| 발표분야 |
환경.에너지 |
| 제목 |
폐실리콘슬러지를 이용한실리콘 분말의 재활용 방법에 관한 연구 |
| 초록 |
실리콘웨이퍼를 제조하기 위하여 실리콘 잉곳을 절단공정에서 발생되는 폐실리콘슬러지에는 실리콘과 실리콘카바이드 그리고 절삭유를 주성분으로 하는 유가자원이 함유되어 있다. 최근 일부 이러한 폐실리콘슬러지 중에 함유되어 있는 실리콘카바이드와 절삭유를 분리, 회수하여 재활용하는 기술이 개발 적용되고 있으나 최종적으로 배출되는 슬러지는 아직 전량 폐기되고 있는 실정에 있다. 따라서 본 연구에서는 폐실리콘슬러지로부터 일부 실리콘카바이드와 절삭유를 회수한 후 최종적으로 폐기되는 폐실리콘슬러지의 재활용 방법을 개발하기 위하여 절삭유를 완전히 분리한 후 실리콘과 실리콘카바이드 그리고 금속성분이 혼합되어 있는 고상성분의 열처리에 따른 특성변화를 고찰하였다. |
| 저자 |
POUDEL JEEBAN, 남석희, 임대원, 최경석, 장제일, 오세천
|
| 소속 |
공주대 |
| 키워드 |
실리콘슬러지; 실리콘; 실리콘카바이드; 열처리
|
| E-Mail |
|
