| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 |
11권 2호 |
| 발표분야 |
반도체재료 |
| 제목 |
기상유도결정화를 이용한 AMOLED 박막트랜지스터용 대구경 결정립을 가진 다결정실리콘 박막 성장 |
| 초록 |
AMOLED전류구동 소자인데 각 화소의 스위치 소자인 기존의 비정질 실리콘 TFT로는 낮은 구동전류와 불안정성 때문에 적용이 매우 어렵다. 이를 해결하기 위해서는 poly-Si TFT가 적합하다. poly-Si 박막은 소면적일 경우에는 레이저결정화 방법을 이용하여 성능이 우수한 박막성장이 가능하다. 그러나 대면적일 경우에는 레이저 사용이 매우 제한적이다. 대면적에는 금속유도결정화 방법이 유리하나 아직은 결정입자가 작고 TFT소자의 특성이 만족스럽지 못하다. 본 연구에서는 Al/Ni chloride를 기화시킨 기상유도결정화라는 방법을 이용하여 결정화온도가 480도씨로 낮으면서도 결정립의 직경이 약 15마이크론인 대구경 다결정실리콘 박막을 처음으로구현하였다. 결정립크기가 상당히 균일하며 박막의 표면거칠기도 우수하였고 누설전류의 원인이되는 전이금속의 농도가 매우 낮다. TFT의 전자유동도는 약 75 cm2/V.s 로 AMOLED응용되 룻 있을 만큼 충분히 높다. 특히, 기상유도결정화방법은 디스플레이업계가 요구하는 대면적 기판제조에 용이할 것으로 기대된다. |
| 저자 |
엄지혜, 안병태
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| 소속 |
한국과학기술원 신소재공학과 |
| 키워드 |
TFT; poly-si; 기상유도저온결정화; 대구경 결정립
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