| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
E. Frontiers of Materials Research(선도 재료연구) |
| 제목 |
Flexible ITO electrode를 이용한 Dielectric layer의 유무에 따른 PbI2의 특성평가 |
| 초록 |
최근에 의료영상분야에서는 디지털 방사선 검출기의 활용도가 확대되고 상업적으로의 발전가능성 또한 높아지고 있다. 현재 다양한 방사선 검출기의 분야에서도 대면적의 의료영상 촬영이 가능하고 영상의 왜곡을 최소화 할 수 있는 Flat panel detector에 대한 연구가 많이 진행 중이다. Flat panel detector를 제작하는 방법에서 크게 직접변환방식과 간접변환방식이 있는데 본 연구는 기존에 직접변환방식에 널리 사용되는 a-Se(Amorphous seleinum), HgI2등의 물질보다 고효율의 X-ray변환물질을 연구하기 위한 목적으로 glass에 ITO 전극을 코팅한 substrate(저항의 크기 41Ω/1cm)와 Roll-to-Roll sputtering system을 통하여 제작된 Flexible ITO substrate(저항의 크기 1.1Ω/1cm)에 상용화된 PbI2 powder를 특수용매 Binder와 일정한 비율로 합성하여 screen-printing방식으로 필름을 제작하였다. 그리고 유전체의 유무에 따른 광도전체의 전기적 특성을 파악하기 위해 제작된 필름의 상부에 PDS(Parylene Deposition System)2060 장비를 사용하여 유전체(parylene C type)을 코팅하였으며 누설전류를 최소화하고 광도전체 특성의 재현성을 유지하기 위해 유전체를 총 3번의 코팅과정을 거쳐 최종적인 유전체의 두께는 약 20um 정도로 측정되었다. 입사된 X-ray에 대한 PbI2 Film의 Sensitivity와 Dark current, SNR(signal-to-noise)등을 측정하여 PbI2필름의 전기적 특성을 검출하여 정량적으로 평가하였다. 측정결과 Flexible ITO substrate에 제작된 PbI2 필름의 경우 변환물질이 Flexible 특징을 가지지 못하여 경계면에서의 완전한 밀착성을 가지지 못하여 신호를 측정하는 과정에서 문제점을 보였으며 glass ITO substrate의 경우는 유전체를 코팅한 PbI2 필름의 경우 Dark current 가 현저하게 줄어드는 경향을 보였으나 Sensitivity측정에서 유전체 두께에 의한 신호의 감약 현상이 나타나는 반면 재현성 부분에서 뛰어난 경향을 보였으나 최종적인 SNR의경우 유전체를 사용한 필름이 100정도 높은것을 알 수 있었다. 본 연구에서 Flexible 특성을 가지는 광도전체의 제작이 가능하다면 방사선 검출기 분야에서의 새로운 발전 가능성이 기대된다. |
| 저자 |
김성헌1, 김윤석1, 윤민석1, 장기원1, 박근우1, 정복동2, 문치웅1, 남상희1
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| 소속 |
1인제대, 2인피니트헬스케어 |
| 키워드 |
Flat panel detector; Flexible ITO substrate; dielectric substance; Roll-to Roll sputtering system; PbI2
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