| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2012년 가을 (10/11 ~ 10/12, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 37권 2호 |
| 발표분야 | 고분자가공/복합재료 |
| 제목 | 마이크로/나노 실리콘 구조물 제작 공정 및 전사 공정 |
| 초록 | 최근 에너지 저장 소자의 음극 소재로 실리콘이 주목을 받고 있다. 실리콘은 이론 용량값이 탄소소재에 비해 10배 정도 큰 장점이 있으나, 부피팽창 문제로 인한 안정성 문제 때문에 바로 적용하기는 어려운 문제점이 있다. 최근 이런 문제점을 해결하고자 실리콘의 나노구조 및 마이크로 구조 제작 및 응용에 관한 많은 연구들이 이루어지고 있다. 본 연구에서는 다양한 나노 및 마이크로 패터닝 공정을 이용하여 실리콘 나노 구조를 제어하고 이를 전극용 기판에 전사하는 공정을 개발하였다. 또한, 이를 이용한 소자 제작 기초 실험에 대한 연구결과를 보고하고자 한다. |
| 저자 | 최대근, 김한중 |
| 소속 | 한국기계(연) |
| 키워드 | 나노 실리콘; 전사공정; |
