| 초록 |
반도체 및 디스플레이 분야 등 다양한 분야에서 사용되고 있는 산업용 가스는 불순물이 거의 없는 초고순도이다. 정제되지 않는 가스를 초고순도로 정제하기 위해서는 가스 내의 불순물을 제거해야 하는데, 그중 대표적인 불순물은 수분이다. 수분을 제거하기 위한 가장 대표적인 흡착제는 Molecular sieve이며, 다른 불순물의 존재, 불순물 함량 등과 같은 공정 조건에 따라 3A, 4A, 13X 등 알맞은 흡착제를 채용하게 된다. 본 연구에서는 3A, 13X Molecular sieve 각각에 대하여 물성 평가를 진행하고, 물성 및 수분 농도에 따른 수분 흡착 성능을 확인하였다. 미세구조 분석, 조성 분석, 비표면적 분석, 그리고 상 분석을 위해 각각 SEM, EDS, BET, 그리고 XRD를 이용하였다. 또한 수분 흡착 성능 평가를 위해 Breakthrough curve를 이용하였으며, 물성 및 수분 농도 변화에 따른 수분 흡착 성능을 확인하였다. 따라서, 3A, 13X molecular sieve의 물성 평가 결과 및 수분 농도에 따른 수분 흡착 성능이 어떻게 나타내는지를 확인하였다. |
