화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2017년 봄 (05/10 ~ 05/12, 광주 김대중컨벤센센터(Kimdaejung Convention Center))
권호 21권 1호
발표분야 디스플레이
제목 CD를 활용한 1μm 이하로 패턴된 고성능 유기박막트랜지스터 제작
초록 소프트 리소그래피를 통한 고해상도 나노 패턴을 형성하기 위해서는 나노패턴을 형성한 마스터 몰드가 필수적인데 기존의 포토리소그래피를 이용해 제작되는 마스터 몰드는 고가의 공정이 필요하게 되므로 비용적인 문제가 발생한다. 본 연구를 통해 고가의 공정을 탈피, 저렴하며 선형 나노패턴을 가지고 있는 컴팩트 디스크 (CD)를 마스터 몰드로 재사용하여 나노임프린팅 방법을 적용한 polyurethane acrylate (PUA) 스탬프를 제작했고, 소프트 리소그래피 방법을 적용하여 6,13-bis-(triisopropylsilylethynyl) pentacene (팁스펜타센) 유기 반도체 나노 와이어를 성장시켰고 높은 전하이동로를 보이는 유기전계효과트랜지스터를 개발할 수 있었다. 본 연구는 한국연구재단 (NRF), 미래창조과학부 (MSIP)로부터 연구비를 지원 받았다. 또한 한국교통대학교 공학교육 혁신센터 창의적 종합설계 시작품제작 지원을 받아 수행하였다.
저자 이호승, 안태규
소속 국립한국교통대
키워드 디스플레이; 유기박막트랜지스터; 미세패터닝
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