화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트)
권호 18권 1호
발표분야 E. 구조 재료(Structural Materials)
제목 Sintered-RBSN공법을 이용한 질화규소 합성
초록 비산화물계 세라믹스의 대표적인 재료인 Si3N4를 합성 방법으로서 Sintered-RBSN (Reaction Bonded Silicon Nitride)공정을 연구하였다. 시작원료로 Si분말과 소결조제로 Al2O3 및 Y2O3를 첨가하였다. 소결조제는 Si3N4기준으로 각각 4wt.%, 6wt%. 첨가하였다. 혼합된 분말을 Φ30 금형을 사용하여 일축가압성형기로 1.5ton의 힘으로 30초간 가압하여 성형하였다. 반응가스로 수소가 5%포함된 수소 질소 혼합가스를 사용하였다. 질화반응은 1300℃에서 1시간 유지 후 1500℃까지 1℃/min로 승온하고 1500℃에서 다시 1시간 유지 후에 20℃/min로 냉각하였다. 질화 반응 후에 치밀한 소결체를 얻기 위해 후소결이 진행되었다. 후소결은 승온 냉각속도를 20℃/min로 1800℃에서 1시간동안 진행되었다. 그 결과 이론밀도가 96%인 치밀한 소결체를 얻었다.  
저자 김경아1, 민준원1, 송병무2, 고재웅3
소속 1자동차부품(연), 2(주)원익쿼츠, 3세라믹스사업부
키워드 Sintered-RBSN; 질화규소
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