| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2007년 봄 (05/10 ~ 05/11, 무주리조트) |
| 권호 |
13권 1호 |
| 발표분야 |
나노 및 생체 재료 |
| 제목 |
Fabrication of well-ordered diblock copolymer nanotemplates using surface neutralization by self assembled monolayer and their applications |
| 초록 |
기존의 광학적 리소그래피는 나노 수준의 대면적 2D, 3D 구조 제작을 구현에 많은 어려움을 보이고 있다. 이에 대한 대안으로써 자기조립 공중합체를 이용한 나노 템플레이트를 나노 구조물 제작에 이용하고자 하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 나노 템플레이트로서 이용되는 Polystyrene (PS) – block – Polymethylmetacrylate (PMMA) 블록 공중합체는 소수성의 PS 와 친수성의 PMMA 로 구성되어있기 때문에 소수성 또는 친수성의 한가지 성질만을 갖는 기판 위에서는 잘 정렬된 실린더 모양의 나노구조를 구현하기가 매우 어렵다. 이를 위해서 기판의 중성화가 필수적이며 기존에는 random copolymer brush를 이용한 방법이 사용되고 있으나 random copolymer 는 합성 자체가 어렵고 상용화 되어 있지 않은 단점을 가지고 있다. 본 연구에서는 친수성과 소수성을 모두 가진 3-(p-methoxyphenyl)propyltrichlorosilane (MPTS) Self-Assembled Monolayers (SAMs)을 이용하여 다양한 기판을 중성화 시켰으며 아울러 매우 잘 정렬된 실린더 모양의 나노홀 정렬구조 템플레이트를 제작하였다. 분자량 비를 조정하여 10 nm – 30 nm 크기의 조절된 나노홀 구조를 형성하였으며 SiO2, Si, SiNx, HfO2 등 다양한 기판 위에 나노 템플레이트를 형성하였다. 진공 증착 방법을 통해 Au와 Co의 금속 나노점 정렬 구조를 제조 하였으며 그 물성을 연구하였다. 또한 다양한 나노 소재 제작에 응용하기 위해 고분자 나노 템플레이트 구조를 건식 식각 방법으로 산화막에 전이하는 연구를 진행하였다. 이러한 결과를 바탕으로 자기조립 공중합체나노 템플레이트의 형성 조건 및 그 응용에 관하여 논의할 것이다. |
| 저자 |
김수진1, 이성균1, 맹완주1, 박대호1, 손병혁2, 김형준1
|
| 소속 |
1포항공과대, 2서울대 |
| 키워드 |
템플레이트; 공중합체; 나노점
|
| E-Mail |
|
