초록 |
본 연구에서는 MoS2 (이황화몰리브덴: Molybdenum disulfide)를 화학적박리법을 이용하여 다양한 두께의 필름을 형성하였고, 이를 근적외선 (NIR: near infrared) 광 검출기 (photodetector) 제작에 응용하였다. MoS2 필름의 두께를 조절함으로써, MoS2 광 검출기는 980 nm 및 1500 nm 파장의 근적외선 범위까지 광학 반응을 보임을 관찰하였고, 근적외선 광 세기가 증가할수록 생성되는 광 전류 역시 증가하는 것을 확인하였다. 또한, 광 검출기 반응 감도(sensitivity)를 향상 시키기 위해, 플라즈몬 나노구조 (Plasmon structure) 위에 MoS2 필름을 형성 하여 광 검출기를 제작하였다. 이 소자 역시, 근적외선 광 세기가 증가함에 따라 광 전류가 증가함을 보였고, 기존 MoS2 필름만으로 제작한 광 검출기와 Responsivity 및 Detectivity를 비교 하였을 경우, 광 반응 감도가 향상 됨을 확인할 수 있다. |