| 초록 |
위치제어센서는 다양한 방법으로 생산 및 연구가 진행되고 있으나, 가장 저렴하고 정밀도 및 제어가 용이한 Potentiometer가 자동차, 산업용 Volume 등으로 폭넓게 응용되고 있다. 그러나 장기신뢰성, 선형성 특성의 취약 등의 응용에 제약을 받고 있는 상황으로 Resist Film의 표면조도를 매끄럽게하는 경면인쇄기술 개발이 필수적이다. 본 연구에서는 Indirect Screen Printing을 사용, 경면인쇄기술을 이용한 Resist Film을 제작하고 특성을 분석하였다. 먼저 2inch Mirror Plate(황동)위에 PR을 3,000RPM, 40초간 스핀코팅을 한 후 2분간 Hot Plate에서 Baking을 하였고 Resist Film의 코팅을 위해 UV노광을 통하여 10㎛ 패터닝을 하였다. Screen Printer를 이용하여 Resist paste 및 전극용 Ag를 코팅한 후 PR을 제거하였다. Resist film을 경면으로 제작하기 위하여 Epoxy Resin을 코팅한 후 그 위에 접착제를 도포하여 PCB기판을 접착하였다. Polishing과 Wet etching을 통하여 황동판을 제거, 경면인쇄공정을 수행하였다. Resist Film면의 표면거칠기는 약 0.5㎛정도로서 매끈한 경면을 갖게 되었으며, SEM, Hardness Tester를 이용하여 표면/계면 관찰 및 경도측정을 하였다. 앞으로 경면 Resist Film 제작을 위한 공정조건을 통하여 Potentiometer type 위치제어센서 제작에 대한 지속적인 연구가 이루어질 것이다. |
