| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 |
19권 1호 |
| 발표분야 |
F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 |
Proton-based WO3/Ta2O5/NiO 고상 전기변색 소자의 공정 및 특성 분석 |
| 초록 |
전기변색 물질은 인가하는 전기장에 의해 H+ 또는 Li+ 이온의 주입 및 이탈에 따라 재료의 광학적 특성이 변화하는 재료로 스마트 윈도우, 자동차용 변색 거울 등에 활용되어지고 있다. 본 연구에서는 반응 스퍼터링 공정을 이용하여 WO3/Ta2O5/NiO 고상 전기변색 소자를 제작하고 제작된 소자의 전기변색 특성을 평가하였다. WO3 박막은 환원변색 물질로 사용되었으며, 산화변색 물질로는 NiO가 적용되었고, 고체전해질로는 Ta2O5 박막을 적용하였다. 사용된 모든 박막들은 금속 타겟을 이용하여 Ar/O2 분위기 하에서 반응 스퍼터링 공정을 이용하여 증착되었다. 증착된 박막의 특성은 공정압력과 O2 flow 량에 따라 특성이 크게 영향을 받았으며 이러한 공정 변수들에 대해 최적화 하였다. 제작된 WO3/Ta2O5/NiO 고상 전기변색 소자는 H+ 이온의 거동에 따라 투과도가 변화하는 양호한 변색특성을 보였다. WO3/Ta2O5/NiO 고상 전기변색 소자의 전기변색 특성은 WO3 박막의 공정 압력에 따라 큰 영향을 받았으며 공정 압력이 높아질 경우 빠른 열화현상이 관찰되었다. |
| 저자 |
조성목, 김태엽, 박정옥, 류호준
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| 소속 |
한국전자통신(연) |
| 키워드 |
전기변색; 스마트윈도우;
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