화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교)
권호 15권 2호
발표분야 정밀화학
제목 평판디스플레이용 글라스의 slimming을 위한 환경친화형 식각액
초록 Smat phone, LCD 등 평판디스플레이 판넬용 유리의 박판화를 위해서 불산의 사용은 절대적이다.산은 유리표면을 식각함과 동시에 표면에 잔류한 오염원을 제거하는데 사용되어 효과적으로 사용되어 왔으나 불산이 가지는 높은 산화력으로 인하여 유리의 과부식으로 인한 투명도 저하 및 표면 조도의 증가, 식각 장치 부식, 등의 문제점이 있으나, 그 무엇보다도 유해가스 발생, 폐수처리 곤란, 등 환경에 미치는 그 피해가 다른 무기산에 비해 그 영향은 심각할 정도로 치명적이라는 점다. 그러므로 불산을 대체할 수 있는 환경친화적인 식각액의 개발은 표시소자산업분야에서 해결되어야할 시급한 당면과제이다. 따라서 본 연구는 기존의 유리 식각공정에서 사용되던 불산의 대체물질로 중불화암모늄을 사용한 식각액의 조성을 제안하고, 이 제안된 식각액에 따른 식각 속도, 유리 식각 후 이들에 대한 표면의 평활성, 결함의 유무 등을 관찰하고 조사함으로서, 불산대체제로서의 사용가능성을 타진하였다.
저자 전휘1, 김정민1, 박태문1, 고영옥2, 이철태1
소속 1단국대, 2(주)비츠로셀
키워드 glass; 식각; 디스플레이; 비불산
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