| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1669 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | RF-magnetron sputtering을 이용한 YSZ박막제조와 고체전해질형 가스센서로의 응용 |
| 초록 | 지르코니아 산화물은 기계적, 열적, 광학적성질이 우수하여 일찍부터 내화물로 사용되 었으며, 기타 여러 방면에 응용되어왔다. 원래 순수한 지르코니아는 세 개의 동질 이상체;실온에서는 단사정계, 1170℃에서는 정방정계, 2370℃에서는 입방정계를 가지고 있다. 고온결정상을 저온까지 안정시키기 위해 Y2O3, MgO와 CeO등을 첨가하는데, 특히 이트리아안정화 지르코니아(이하 YSZ)는 산소이온전도성이 우수하여 연료전지, 가스센서, microelectronics에 적용되었다. 산소이온전도성은 지르코니아에 yttria를 첨가하여 생긴공간격자로 인하여 이루어지는 것으로, 결정구조는 지르코니아와 같은 fluorite이다. YSZ는안정화제인 yttria의 농도에 따라 안정화정도가 다르지만 12mol%이상에서는 완전한 안정화를 기할 수 있다. YSZ박막은 여러 가지 방법들에 의해 제조될 수 있는데, 본 연구팀의 선행연구에서는 화학증착기법인 PEMOCVD를 이용하여 YSZ제조 조건을 최적하였고, 그에 따르는 고체전해질형 가스센서를 구축하여 산소농도에 따르는 변화를 관찰하였다. 본 연구에서는 앞서의 연구와 병행하여 물리증착인 RF-magnetron sputtering을 사용하여 YSZ를포함한 가스센서를 구성하여 앞의 경우와 비교하여 산소농도에 따른 가스감응을 살펴보았고, 또한 YSZ 최적 제조조건과 전해질 막의 물리적 특성을 고찰하였다. |
| 저자 | 김기동, 박준용, 조영아, 전진석, 배정훈, 최동수, 염근영 |
| 소속 | 한국가스공사 연구개발원 |
| 키워드 | ysz; gas sensor; thin film |
| 원문파일 | 초록 보기 |
