| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (05/12 ~ 05/13, 전북대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 무기재료 |
| 제목 | 정밀유리연마용 세리아-카올린 복합연마재의 제조 및 연마특성 |
| 초록 | 오늘날 반도체 및 전자 기술의 발전과 함께 반도체 디바이스의 웨이퍼(wafer)의 광역 평탄화와 전기ㆍ전자제품에 사용되는 유리 및 광학렌즈의 표면 연마의 중요성이 증대되고 있다. 정밀유리 및 브라운관 유리 연마용 연마재로서는 세륨계 연마재가 지금까지 주로 사용되어 오고 있다. 본 연구에서는 카올린의 함량에 따른 세리아-카올린 복합연마재를 제조하여 기존의 세리아 연마재와의 물리화학적 특성(XRD, SEM, BET, 등) 및 연마특성을 비교 관찰하고자 한다. 유리연마에 적용시 카올린 함량에 따른 연마율(nm/min), 스크래치 등의 연마특성을 통하여 서브마이크로 크기의 세리아와 마이크로 크기의 판상 카올린과의 형상ㆍ화학적 특성을 통한 시너지 효과를 나타내는 연마슬러리 합성조건에 대하여 연구하였다. |
| 저자 | 조금성, 김대성, 김환철, 이승호 |
| 소속 | 요업(세라믹)기술원 복합재료팀 |
| 키워드 | CMP; ceria; kaolin; glass |
