| 초록 |
최근 산업의 발전과 더불어 반도체 수요가 증가하고 있으며 그 생산기술 또한 급속히 발전하고 있는 실정이다. 특히 64 MDRAM 이상의 고성능 반도체 메모리를 생산하기 위해 HEPA, ULPA 및 다양한 Chemical Filter등의 clean room 시설이 사용되고 있다. 이들 중 현재 Chemical Filter에는 첨착 활성탄이나 입상형 이온교환수지를 사용하고 있으나 활성탄이나 입상형 이온교환수지는 압력손실이 크고 분진에 의한 2차오염과 사용시 기재로부터 분리되기도 하는 등 문제가 있어 점차 섬유상 이온교환수지로 대체되고 있는 실정이다. 그러나 섬유상 이온교환수지는 이러한 단점은 해결할 수 있으나 이온교환 용량이 작아 흡착성능이 떨어지고 필터로 가공하기 위한 물성등을 만족시키지 못하는 문제를 가지고 있다. 따라서 본 연구에서는 암모니아에 선택적 흡착특성이 있는 입상형 이온교환수지를 사용하여 기존 필터 소재의 단점을 개선한 고성능 필터 소재를 제조하였으며 부착강도, 차압측정, 가스흡착 특성 등을 평가하였다. |
