| 초록 |
초소형 마이크로 부품의 신뢰성 평가는 부품의 크기가 작아짐에 따라서 소재 내부의 결정립, 표면에 존재하는 작은 흠집, 마찰력 등의 영향이 커지게 되며, 일반적으로 수행되는 시험 방법에 의한 물성 측정 결과를 적용하는 것이 불가능하게 되었다. 따라서 마이크로 및 나노 정도의 정밀도를 가지는 물성 시험에 관한 연구가 최근 활발히 진행되고 있다. 소재의 물성을 측정하는 방법으로는 인장 시험, 굽힘 시험, 자기공명 시험, 경도 시험 법 등이 있다. 이중 인장 시험법은 직접적으로 탄성계수, 포와송비, 파괴강도 등을 측정할 수 있는 가장 효과적인 방법이며, 특별한 수식을 통한 환산이나 조건 없이도 물성치를 직접적으로 구할 수 있으므로 보편적으로 많이 쓰이고 있는 방법이다. 변형률 측정방법에는 접촉 방식과 비접촉 방식의 변형률 측정 방법이 있다. 접촉 방식의 변형률 측정 방법은 정밀 신율계가 소재와 접촉하여 측정하는 방식으로 크기가 작은 마이크로 박판 소재에 적용하기에는 부적합하다. 본 논문에서는 비접촉 방식의 비전 변형률 측정모듈을 적용하여 측정한 이미지 변형률 측정법과 가진 변위 환산법에 따라 측정할 수 있도록 개발된 마이크로 물성측정 시스템를 이용하여 두께 50㎛의 니켈(Ni-99.9%) 박판 소재를 이용하여 마이크로 물성평가 실험을 수행하였다. 마이크로 인장 실험을 통해 이미지 변형률 측정법과 가진 변위 환산법에 따른 기계적 물성 차이를 분석하였고, 인장 시험편의 평행부 폭 및 길이에 따른 물성 변화 차이에 대한 사이즈 영향도를 분석하였다. |
