| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/04 ~ 11/06, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | (나노) 웨어러블/플렉서블 나노 소재 기술 |
| 제목 | 플렉서블 태양전지를 위한 저온 공정의 실리콘 박막 및 소자제작 기술 |
| 초록 | 태양전지는 최근 모바일 및 웨어러블(wearable) 기기의 보조전원 등에 응용을 위해 가볍고 유연성을 띄는 플렉서블 특성 또한 매우 중요시되고 있다. 실리콘 박막은 대면적까지도 대응이 가능하고 환경적 이슈가 없는 장점이 있으나 주로 200-300 oC 수준의 온도에서 박막이 증착될 때 특성이 우수한 편이다. 제조 단가를 낮추기 위해서 값싼 플렉서블 기판을 이용하게 되면 매우 낮은 공정온도가 요구될 수 있는데, 기존 연구에서 실리콘 박막 태양전지를 100 oC 수준 혹은 그 이하로 제작했던 선행연구가 있었지만 박막 및 소자 특성의 손실이 커지면서 변환효율이 4% 미만에 그친 바가 있다. 본 연구에서는 그간 진행해왔던 저온화 연구를 기반으로 기존의 200-300 oC 수준의 온도에서 100 oC 로 실리콘 및 실리콘 산화막 등의 박막과 그들로 구성된 소자를 제작하면서도 변환효율의 손실을 최소화하여 8~9% 수준의 효율을 갖는 비정질 실리콘 박막태양전지 결과를 발표한다. 이는 고온 공정에서 보여주는 9~10%의 변환효율에 대비하여 온도 감소 폭을 감안하면 거의 손실을 최소화 했다고 할 수 있다. |
| 저자 | 강동원 |
| 소속 | 청주대 |
| 키워드 | 실리콘; 실리콘 산화막; 저온 공정; 플렉서블 태양전지 |
