| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (05/19 ~ 05/20, 경상대학교 ) |
| 권호 | 12권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | 활성화(Activation)과정의 탈가스 온도와 합금구조의 관계 |
| 초록 | 비증발형 게터(Non-Evaporable Getter, NEG)는 화학적으로 활성화된 금속 합금에 시스템 내의 잔류기체가 흡착 · 흡수되어 원하는 진공도를 얻을 수 있는 물질이다. 비증발형 게터는 활성화(Activation) 과정을 통하여 가스 흡수능이 얻어지는데, 이 활성화 과정은 금속분말표면에 잔류가스와의 접촉을 방해하는 산화물 등의 형태로 흡착된 가스를 제거하여 활성 금속 표면이 잔류가스와 접촉할 수 있게 하는 과정이다. 일반적으로 이러한 표면의 흡착은 크게 물리적 흡착과 화학적 흡착으로 이루어져 있는데, 진공 중에서 가열하는 활성화처리에 의하여 물리적 흡착된 가스는 외부로 방출되고, 화학적 흡착 가스는 금속내부로 확산되어 제거 되는 것으로 알려져 있다. 본 연구 그룹에서는 게터 합금의 활성화 및 가스흡수특성에 관한 연구를 진행하고 있다. 특히 활성화에 의한 게터 분말의 구조적 변화 뿐만 아니라 측정 장치 내의 압력변화 원인을 분석하기 위하여 RGA(Residual Gas Analyzer)를 측정 장치에 장착하여 게터 합금을 진공 가열시 잔류가스성분의 변화를 측정하여 분석하였다. 활성화 가열 중 가스 방출온도가 금속의 구조변화에 밀접한 관련이 있다는 것을 알았다. 즉 흡착가스의 방출은 200℃부근에서 이루어지며, 고온에서는 화학흡착 가스의 방출이 이루어진다. 하지만 이러한 화학흡착 가스의 방출온도는 금속의 구조에 따라서 변화하였다. 또한 본 연구에서는 이러한 가스 방출온도와 활성화온도 관련성에 대하여 조사하였다. |
| 저자 | 우샛별1, 김원백1, 박제신1, 서창열1, 박미영2 |
| 소속 | 1한국지질자원(연), 2(주)세종소재 |
| 키워드 | NEG; Activation; Getter; outgassing |
